비아트론이 6세대/8세대 유리기판에 적용되는 프리컴팩션을 개발했다.

9일 업계에 따르면 비아트론은 고해상도 LTPS LCD/ AMOLED를 위한 6세대/ 8세대 프리컴팩션(pre-compaction) 장비의 개발을 완료했다.

이 장비는 유리기판의 핵심 장비로 알려져 있다.

우선 6세대/8세대 유리기판의 백사이드(back side) 면의 스크래치(scratch), 파티셜(particel)을 제어할 수 있는 기술이다.

또 6세대/8세대 유리기판의 warpage/shrinkage 열변형 제어기술이다. 대면적 초정밀 온도 제어기술(±2.5℃) 및 대면적 유리기판의 선수축 공정온도 변화에 따른 기판 수축 데이터화를 완료했다.

또한 유리기판 관련 6세대/ 8세대 멀티슬롯 배치형 퍼니스의 개발도 완료했다.

이 기술은 최대 12장의 유리기판 동시 장입 온도 및 기판변형 제어기술이다. 생산량 증대를 위한 챔버내 온도 급속 안정화 제어기술과 안정적인 로봇을 이용한 유리기판 이송시스템이다.

글로벌에픽 증권팀 박진현 기자 epic@globalepic.co.kr