7일 에이치브이엠 사업보고서에 따르면 미국 나스닥에 상장돼 있는 프랙스에어(Praxair)와 공동 연구개발을 통해 '퓨어(Pure) Ta 스퍼터링 타겟'을 개발하고 있다.
프렉스에어는 2006년 독일 기업 린드와 합병해 현재 글로벌 산업가스 및 엔지니어링 회사로 나스닥에 상장돼 있는 것으로 알려져 있다.
스퍼터링 타겟으로 활용되는 '퓨어 Ta'는 높은 수준의 순도를 가져야하므로, 전자빔용해(EBCHM)와 진공아크재용해(VAR)를 이용한 용해를 통해 제조된다.
Ta 타겟은 HDD, 반도체 메모리(RAM, MRAM, FeRAM), 헤드(MR, TMR) 및 캐패시터(Capacitor) 등에 사용된다. 반도체 칩 내의 소자(트랜지스터, 축전지, 저항, 다이오드 등)를 구동하기 위한 주 배선은 Al 또는 Cu로 구성되어 있으며, Ta 또는 TaN 등은 주 배선의 확산 방지 역할을 한다.
이러한 Ta과 TaN은 융점이 높고 고온에서 Cu와 반응을 잘 일으키지 않아 열역학적으로 안정하기 때문에, 기판과 Cu을 막아주는 확산방지막으로 가장 우수한 특징을 가지고 있다.
한편 현재 Ta 합금 시장은 전 세계적으로 소수의 기업이 독점하고 있는 상태다.
[글로벌에픽 증권팀 박진현 기자 / epic@globalepic.co.kr]
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